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|
名称 |
内容 | ||
|
测量范围 |
Z轴（垂直） |
160μm | |
|
X轴（水平） |
17.5mm | ||
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分辨率 |
Z轴（垂直） |
0．01μm/±20μm | |
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0．02μm/±40μm | |||
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0．04μm/±80μm | |||
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测量项目 |
参数 |
Ra、Rq、Rz、Rt | |
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标准 |
ISO、GB | ||
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滤波器 |
RC,PC-RC,Gauss,D-P | ||
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取样长度(lr) |
0.25,0.8,2.5mm | ||
|
评定长度（ln） |
Ln= lr×n n=5 | ||
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传感器 |
测量原理 |
位移式差动电感 | |
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触针 |
天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径 | ||
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测力 |
<4mN | ||
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导头 |
红宝石，滑行方向半径40mm | ||
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滑行速度 |
lr=0.25, Vt=0.135mm/s | ||
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lr=0.8, Vt=0. 5mm/s | |||
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lr=2. 5, Vt=1mm/s | |||
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返回 Vt=1mm/s | |||
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示值误差 |
不大于±10% | ||
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示值变动性 |
不大于6% | ||
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电源 |
内置锂离子充电电池，用8.4V,800mA充电器充电 | ||
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外形尺寸 |
119×47×65mm | ||
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重量 |
约380g | ||
| 产品名称 | 产品简介 | 产品编号 |
|---|---|---|
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