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添加时间：2010-1-27 编辑：07017 阅读：次
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最大サンプルサイズ |
210×210mm～300×400mm |
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再現性 |
1σ 0.5nm以内 |
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測定範囲 |
Z：100μm X：100mm （Y移動量：150～400mm） |
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分解能 |
Z：0.1nm X：0.01μm |
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測定力 |
0.5μN～500μN |
| 产品名称 | 产品简介 | 产品编号 |
|---|---|---|
| ET4000微细形状测定仪 | 精度・安定性・機能性抜群で、FPD基板・ウエハー・ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適な全自動微細形状測定機です。また、多機種の中から用途に合わせて選択できます。 | MC-06352-00 |
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