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|
型号 |
6英寸用 |
8英寸用 |
12英寸用 | |
|
商品编号 |
09002501 |
09002505 |
090025011 | |
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精度
（温度20℃±1℃） |
累积指示误差±0．15μm 行程3 mm以内 重复精度0．2μm（20） | |||
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测量部 |
传感器 |
PH-01 | ||
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测力 |
1．2～2N/0～5 mm | |||
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硅片直径 |
φ3″，φ4″，φ5″，φ6″ |
φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″， |
φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″，φ12″ | |
|
收张行程 |
5mm |
5 mm |
5mm | |
|
尺寸 |
160(W)×175(D)×185(H)mm |
200(W) ×210(D)×185(H)mm |
300(W) ×291(D)×185(H)mm | |
|
显示部件 |
形式 |
DH-151 | ||
|
显示部 |
绿色荧光显示管 | |||
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显示位数 |
7位及［—］号 | |||
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最小显示量 |
0．0001 mm （ 0．1μm） | |||
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尺寸重量 |
278(W) ×300(D)×81(H)mm, 约2．7kg | |||
|
电源 |
AC85～250V， 50/60HZ, 10VA | |||
|
电源电缆 |
3m AC可分析 | |||
| 产品名称 | 产品简介 | 产品编号 |
|---|---|---|
| 硅片厚度测量仪 | 硅片厚度测量仪,用RS-232功能+数据计算环软件的组合，在测量每个工件时数据就自动的传送给PC,在显示部件上连接选配的BCD输出打印机，在每个工程测量时，测量数据就自动的进行打印输出 | MC-12018-00 |
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