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COBRA DS 3010/8161 D螺杆真空泵BUSCh普旭
COBRA DS 3010/8161 D螺杆真空泵BUSCh普旭
订货号： TA-01798-00
产地： 德国
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开发编号： N
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产品描述：

产品简介
COBRA DS 3010 D 和 COBRA DS 8161 D 干式螺杆真空泵专为工艺严苛的太阳能、平板显示器和半导体应用提供世界一流的高负荷和大流量进出片室解决方案。该真空泵采用独特的螺杆设计，并且集一流的抽速、强劲的抽氢性能，以及卓越的粉尘处理能力于一身。
COBRA DS 3010 D 和 DS 8161 D 配备了高能效电机和世界先进的休眠模式功能，可节省大量能耗。
采用紧凑型设计，具有独立的助力器和螺杆泵框架，轻轻松松即可进行安装和维护。
由于该 COBRA 系列采用最优化的空间设计，并具有节能潜力，因此运行成本很低。
应用
• 高密度等离子体化学气相沉积 (HDP-CVD)
• 快速热处理 (RTP)
• 次大气压化学气相沉积 (SACVD)
• 金属有机物化学气相沉积 (MOCVD)
• 等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
• 低压化学气相沉积(LPCVD)
• 原子层沉积 (ALD)
• 进出片室 (Load Lock)
技术设计
COBRA DS 3010 D 和 COBRA DS 8161 D 螺杆真空泵采用反向旋转的两个转子，通过螺杆与腔体间形成的腔室将抽取的工艺介质逐级输送至排气口。此螺杆结构从最大程度上减少介质在真空泵中的滞留时间，使其具有最佳的粉尘处理和重启能力。
与标准螺杆设计相比，改进后的螺杆设计能耗更低，压缩后的气体温度更低。DS 系列使用间接的制冷方法，可使整个泵体的温度保持恒定，从而消除冷点，并为冷却水夹套提供稳定的温度。先进的高压缩螺杆设计实现了同类产品中最佳的抽氢性能。
所有 COBRA DS 系列均配有高性能、可变速的罗茨泵以实现最优的系统性能。有关其它产品信息，请联系您当地的 Busch 公司。
品牌介绍
普旭是一家生产真空泵、鼓风机和压缩机的跨国企业。
公司拥有超过45年的专业经验以及众多优秀员工，并一直以"前瞻性"的眼光努力地改善产品和自身。普旭始终坚持不懈地进行创新性的工作以开创未来的真空世界。
普旭拥有最现代化的生产工艺、机械、设备，所有的质量控制都远远超出了DIN EN ISO 9001 的要求。
位于43个国家的 58个分公司，以及位于30 多个国家的代理商。全球分布策略为客户的成功提供了更高效的服务。
个性化的专业咨询，产品的选择，迅捷的现场服务，是普旭实现这个目标的关键因素，以及在各种专业应用领域的丰富经验、知识和产品设计也为实现这个目标提供了基础。
普旭总部位于德国马尔堡。除了普旭控股公司以外，还有德国的制造厂，普旭产品公司，销售组织， Dr.-Ing. K. Busch 有限公司和服务公司。除此之外，Busch还有位于瑞士、英国、丹麦、美国的5家制造厂。




品牌简介

德国普旭德国普旭
Busch 真空泵及真空系统是全世界最大的真空泵、鼓风机以及压缩机的厂商之一。我们的产品系列涵盖了广泛应用于所有工业领域的真空和正压技术解决方案。 凭借在真空泵及低压…Busch 真空泵及真空系统是全世界最大的真空泵、鼓风机以及压缩机的厂商之一。我们的产品系列涵盖了广泛应用于所有工业领域的真空和正压技术解决方案。 凭借在真空泵及低压泵制造领域50多年的经验，Busch 可提供种类齐全的产品，为全世界提供最广泛的工业真空技术。
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