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订货号: | MM-76703-00 |
产地: | 捷克 |
品牌: | |
开发编号: | N |
市场价: | ¥ |
*此产品根据配置不同价格不同 |
*此价格为参考价格,具体价格以订单合同为准 |
分辨率 高真空模式(二次电子) 低真空(背散射电子, 低真空二次电子) |
1.2nm(30kV);FIB <5nm(30kV) 2.0nm(30kV) |
工作真空
低真空模式 电子枪真空 离子枪真空 |
7-500Pa <3×10-7 Pa <5×10-6 Pa |
电子光学工作模式 |
分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
放大倍率 |
2x-1,000,000x(FE-SEM);150x-1,000,000x(FIB) |
加速电压 |
200V至30KV(SEM);1KV至30KV(FIB) |
电子枪 |
高亮度肖特基(FE-SEM);液态金属镓离子源(FIB) |
探针电流 |
1pA至2μA(SEM);1pA至40nA(FIB) |
扫描速度 |
从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 |
聚焦窗口 |
形状、尺寸和位置连续可调 |
扫描特性 |
动态聚焦,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像 |
图象尺寸 |
最大可达8192×8192像素,图象比例可选1:1、4:3或2:1。 |
显微镜控制 |
通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 |
自动程序 |
专利的实时电子束追踪技术自动最优化电子束,根据放大倍数优化束斑(BI OptiMag),自动聚焦&消象散,自动调整对比度&亮度,自动调整扫描速度(根据信噪比),自动调整饱和电流,电子枪合轴,透镜&光阑对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度级调整 |
远程控制 |
通过TCP/IP |
内部尺寸 |
300mm宽×330mm深 |
门宽 |
280mm宽×310mm深 |
接口数量 |
13+ |
样品室减振方式 |
内置主动式电磁减振 |
类型 |
全电脑化优中心 |
移动范围 |
X=130mm —— 马达驱动 倾斜:-30°到+90°——马达驱动
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样品高度 |
最大139mm |
定货号 | 产品名称 | 规格配置 / 简介 | 市场价/(会员价) |
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MM-76703-00 | LYRA 3 XMU聚焦离子束可变真空扫描电镜 | /() |