技术参数:
分辨率:7nm@20kv SE图像 (可选5nm@30KV )
电子枪:发叉式钨丝阴极 预对中灯丝 W hairpin filament
放大倍数:X20 to X80,000 [1] (X20 to X100,000)
加速电压:0.5kV to 20kV (0.5kV to 30kV 可选)
探测器:SE Detector, EDS/BSE (可选)
真空系统:全自动涡轮分子泵系统 Turbo Molecular Pump Fast Pumping ( < 3 min)
样品台:X axis: 35mm (马达驱动 [2])
Y axis: 35mm (马达驱动 [2])
Z axis: 0 to 60mm
R axis: ±360度
样品尺寸: 45mm (H), 70mm (Diameter)
图像尺寸(Pixel):选区(320x240), TV(640x480), Slow(800x600),
Photo(1280x960, 2560x1920, 5120x3840)
帧频: 选区 (Max. 30 frames/sec), TV (Max. 10 frames/sec) [3]
Slow(Max. 2 frames/sec)
自动功能:Start, Focus, Filament, Brightness/Contrast
计算机操作系统:Windows 7
操作方式:键盘/鼠标Key Board/Mouse, 全触摸屏操作(可选)
外形尺寸:400(W) x 600(L) x 550(H)mm
重量:80kg
价格:更加经济
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