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订货号: | MM-76699-00 |
产地: | 捷克 |
品牌: | |
开发编号: | N |
市场价: | ¥ |
*此产品根据配置不同价格不同 |
*此价格为参考价格,具体价格以订单合同为准 |
分辨率
高真空(二次电子) 低真空(背散射电子) (低真空二次电子) |
1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.0nm(3kV)
2.0nm(30kV)
1.5nm(30kV), 3nm(3kV) |
工作真空
高真空 低真空 枪体真空 |
<5×10-4Pa 7-150Pa
<3×10-7Pa |
电子光学工作模式 |
分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
放大倍率 |
3.5×-1,000,000×连续可调 |
加速电压 |
200V至30KV |
电子枪 |
高亮度肖特基发射源 |
探针电流 |
2pA至100nA |
扫描速度 |
从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 |
聚焦窗口 |
大小和位置连续可调 |
扫描特性 |
动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像 |
图象尺寸 |
最大可达8192×8192像素,图象比例可选1:1、4:3或2:1。 |
显微镜控制 |
通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 |
自动程序 |
独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径,真空控制,电子枪合轴,光阑&透镜对中,加速电压改变的补偿,最优化束斑大小和探针电流,最优化放大倍率和束斑大小,扫描速度,高度和对比度,聚焦和消像散,灰度等级调整。 |
远程控制 |
通过TCP/IP |
内部尺寸 |
Ф230mm |
门宽 |
148mm |
接口数量 |
11+ |
样品室减振方式 |
气垫减振(可选配内置主动式电磁减振) |
类型 |
全电脑化优中心 |
移动范围 |
全马达驱动控制方式:
X=80mm--马达驱动 Y=60mm--马达驱动 Z=47mm--马达驱动 旋转:360°连续可调--马达驱动 倾斜:-80°到+80°--马达驱动 |
样品高度 |
最大81mm |
定货号 | 产品名称 | 规格配置 / 简介 | 市场价/(会员价) |
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MM-76699-00 | MIRA 3 LMU肖特基场发射可变真空扫描电镜 | /() |