产品描述:
高效节能、真空清洁、图像清晰
CX-100S软硬件采用目前世界先进,成熟稳定可靠的技术,是一款全计算机控制的集成化、紧凑型数字化扫描电镜。CX-100S的研制,始终围绕用户能够高效分析,获得清晰亮丽的图像的目标,实现了扫描电镜的艺术级创新。
技术参数:
分辨率:3.0nm (30kV, SE image)
4.0nm (30kV, BSE image) 可选
放大倍数:30x~300,000x(WD=5mm)
加速电压 0.5kV~30kV
电子枪:三级自给偏压,预对中发叉式钨丝阴极,自动/手动电磁对中
透镜系统:三级电磁透镜
物镜光阑:4 孔可变光阑,摇摆对中合轴
图像电位移和电旋转:±20 ? (WD: 5 ㎜); 0-360°无限
样品室:内径φ210mm ,可扩展接配EDS,BSE 等探测器
样品台及行程: 标配五轴手动机械对中样品台
X: 60 ㎜, Y: 40 ㎜, Z: 5~50 ㎜, T: -20°~+90°, R: 360°
可选X、Y 2 轴马达驱动
最大样品尺寸:直径φ160mm ,最大样品高度50mm
操作系统:PCI、USB 接口的PC 机控制, 奔腾4 兼容机,Windows XP, 19 英寸彩色显示器,图形用户界面(GUI),鼠标键盘操作
自动功能:自动电磁对中,自动聚焦,自动亮度对比度,自动消象散
扫描模式:屏幕选区模式: 320 x 240 像素
全屏慢扫描模式: 640 x 480 像素 (3 档速度)
全屏照相获取模式 1: 1280 x 960 像素
全屏照相获取模式 2: 2560 x 1920 像素
示波器观察模式,图像冻结
图像格式:JPG, TIFF, BMP
语言:英语
真空系统:全自动涡轮分子泵真空系统,样品室处真空度优于1x10-5 Torr ,涡轮分子泵210L/sec + 旋片式机械泵100L/min
外形尺寸和重量:主机: 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 310 ㎏
操作台: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10 ㎏
安装要求: 电源 AC 220V, 60Hz, 2kVA
地线 独立地线1 条,小于等于100Ω
温度 15℃~30℃
湿度 小于等于70 %
交流磁场 小于等于0.3 uT
地面振动 5 um/sec Max.
门宽 900mm 或更宽
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