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JSM-6510 SEM扫描电子显微镜

订货号：	MM-16542-00
产地：	日本
品牌：
开发编号：	N
市场价：	￥

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产品描述：

1. 强大的电子光学系统，简单操作
Ⅰ 最新设计的超级圆锥型物镜，保证3nm的分辨率。很容易得到高质量照片。
Ⅱ 广域扫描线圈可以得到最低5倍的放大倍数从而提高观察样品的效率。
Ⅲ 优秀的电子光学系统可以在大束流下形成小束斑，有利于微区分析。
2. 高分辨率
Ⅰ JSM6510系列超级圆锥形物镜，在工作距离8mm时的分辨率为3nm，超级圆锥形物镜
2 的外形设计可以做到短工作距离情况下样品仍然可以大角度倾斜。
3. 全自动电子枪
2 Ⅰ JEOL开发的全自动电子枪能够产生极小电子束源，只要选择好加速电压，就可以进
行观察或成分分析。
Ⅱ 电子枪偏压是调节电子枪亮度的重要部件。JEOL的无缝自给加压系统能随着电压变
化随时调整偏压，使得无论选择哪个加速电压，都能得到最佳亮度。
Ⅲ JEOL独有的像散记忆功能能够自动纠正随加速电压或工作距离改变而产生的像散。

4. 多图显示模式
3 Ⅰ 主显示区可以同时显示两幅实时图像，分别为二次电子像和背散射电子像，参考区
也可显示２幅实时图像，例如二次电子图像，背散射电子图像或ＣＣＤ相机图像。
Ⅱ 双实时显示模式可以用于不同信号图像的对比，用户可在观察表面形貌的同时了解
样品的成份分布情况。
Ⅲ 选用多种图像显示模式时，点击"PHOTO"按纽可同时获得并存储2或3幅全屏尺度图像。
5. 简单易懂的操作接口及菜单
Ⅰ 操作接口简单，直观，默认的操作接口显示了最常用的功能按钮，并以简单图文标
明，点击鼠标即可操作所有功能。
Ⅱ 实时量测，图片上的长度和角度等结构细节能在显示器上进行测量。
6. 可变焦聚光镜修正
Ⅰ 做表面观察和元素分析等不同应用时，选择合适束流非常重要，一般是通过聚光镜
与物镜光阑来控制电子束流的。如果在调整束流过程中，焦点和观察区域位移变化
很小，调整起来会比较方便。JEOL独有的可变焦聚光镜可以保证这一点。

7. 全对中样品台
Ⅰ 当样品台倾斜时，全对中样品台可使图像位移和焦点变化最小。使用此样品台可多
方向观察粗糙表面样品，采用一些不同角度摄取的图片组成立体图片，可通过立体
图片观察深度。
8. 低真空SEM
Ⅰ 低真空扫描电镜，除了包括高真空模式外，还包括低真空模式，在低真空模式下，
不导电样品以及容易放气的样品都可以直接观察。结合JEOL独有的冷冻干燥技术，
可在低真空模式下快速观察含水样品。
9. 各类附件接口
Ⅰ EDS（能谱）WDS（波谱）BEIW（背散射电子探头）SCU（冷台）SHIC（IC样品座）LVSE（低真空二次电子探头）等等

技术参数：

放大倍数	5-300，000倍
分辨率	高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV)
电子枪	全自动，亦可手动调整
样品台	大全对中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，倾斜：-10 - +90度，旋转：360度
灯丝	工厂预对中灯丝（钨）
图像模式	二次电子像，成份像，拓扑像，阴影像
加速电压	5-30KV
聚光镜	可变焦聚光镜
物镜	超级锥形物镜
物镜光阑	3档，X-Y可细调
电位移	±50微米
自动功能	聚焦，亮度，衬度，消像散
最大样品	直径：150mm
样品交换	抽拉式样品台
真空系统	全自动扩散泵DP。分子泵TMP（选购）
操作系统	Windows XP

安装要求

电源	单相，100V交流，50/60Hz，3.0KVA 稳压范围10%以内（压降3.0KVA3%以内）
地线	独立地线一条，小于等于100欧
温度	20土5℃
湿度	小于等于60%
交流磁场	小于等于0.3μT（50/60Hz正玄波，WD：15mm，Acc.V：30KV）
地面振动	大于5Hz正玄波小于等于2μm（P-P）
占地	2000（W）2500（D）1800（H）mm
重量	325Kg（JSM-6510） 435Kg（JSM-6510LV）
门宽	850mm以上

仪器规格
分辨率	高真空模式 4.0nm (20kV), 低真空模式 5.0nm (20kV),
放大倍率	8到300,000倍
加速电压	0.5kV~20kV
样品台	大型全对中样品台 (五轴手动X, Y, Z, R, T) Ｘ：80mm, Ｙ：40mm, Ｚ：5mm～48mm T：-10°～ + 90°, R：360°
最大样品尺寸	直径150mm, 高度48mm
检测器	二次电子检测器、背散射检测器、（成份像、形貌像、立体像）、EDS检测器(SDD) ＊JSM-6010LA有低真空二次电子检测器为选购
画像显示	标准图像、双实时图像、分立实时图像、画中画模式、数字放大、双放大倍数
EDS元素分析	定性分析、定量分析、彩色面分析、电子束追踪、检测元素范围：B~U
自动功能	自动聚焦、自动衬度/亮度、自动消像散、自动灯丝饱和、自动对中、自动电子枪偏压。
真空排气装置	涡轮分子泵（TMP）、机械泵（RP）
网络	以太网、无线LAN（选配件）

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品牌简介

日本日本电子

日本电子是生产应用于科学研究和产业开发的扫描电子显微镜（SEMs），透射电子显微镜（TEMs），质谱仪，核磁共振谱仪及工业设备的世界顶级供货商。日本电子能够提供具体的应用…日本电子是生产应用于科学研究和产业开发的扫描电子显微镜（SEMs），透射电子显微镜（TEMs），质谱仪，核磁共振谱仪及工业设备的世界顶级供货商。日本电子能够提供具体的应用解决方案来推动我们的客户实现其多样化的目标——从有机材料和无机材料的常规分析到纳米技术发展的突破。JEOL致力于自主研究与开发，满足全球技术创新需求，为世界科学发展做出贡献。

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