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ET4000微细形状测定仪
订货号：MM-06784-00
产地1：日本
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产品描述：

KOSAKA ET 4000 基于 Windows XP 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET4000 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。前制程机台(如曝光机、溅镀机、蚀刻机)best  recipe 找寻。例如:PVD、CVD、DLC 真空溅镀薄膜台阶、应力测定及软质光阻材料等薄膜台阶量测。最主要是触针形状不同，ET(俗称 Alpha-step)是 R2um/60度钻石制、AFM  是蚀刻制，故几乎无角度。也因此若纯粹膜厚两种都 OK，差异是有些细微表面 ET掉不进去，故nm以下的表面粗度则以 AFM 为主。



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品牌简介

日本小坂日本小坂
株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立的公司，也是日本第一家發表光學幹槓桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。…
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