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KOSAK ET200台阶仪
订货号：MM-01358-00
产地1：日本
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产品描述：

与AFM 的差异最主要是触针形状不同，ET(俗称Alpha-step)是R 2um/60度钻石制、AFM 是蚀刻制，故几乎无角度。也因此若纯粹膜厚两种都OK，差异是有些细微表面ET掉不进去，故nm以下的表面粗度则以AFM为主。
主要特性
一. 极佳再现性与线性度
再现性• • • 可达0.1nm
线性度• • •针对不同厚薄样品，使用同一感度
二. 高解析度
高解析度• • •特别是针对thin film更佳
纵轴最高解析度0.1nm
横轴最高解析度0.01um
可测定微细形状
三. 低测定力
低测定力• • •效果可比拟非接触
测定力10 ~ 500uN、1~50mgf 可任意设置
可测定软质材料面，如：ITO、COLOR FILTER、SPACER、PI…等
四. 超高真直度
超高真直度• • •可测定试片之长距离测定
追溯性：通过认证工厂，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，产品出厂皆检附出厂校正报告
高机械真直度精度保证：
局部0.005um/5mm、全域0.2um/100mm可测定试片之长距离测定,例如:平面度、波纹度、翘曲度、内应力等等
真直度保证• • •确保测定图形不受影响
五. 即时监控量测位置
即时监控量测位置• • •可易辨认微小样品
配备标准CCD：即时监控量测位置
可选购TOPVIEWCCD，执行高精度定位量测
六. 形状及粗度解析
形状及粗度解析
粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测定参数多达60种
可测定段差及PITCH量测
七．可扩充成三次元设备
形状及粗度解析
粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测定参数多达60种
可测定段差及PITCH量测
主要客户
高校及研究单位:机械、材料、化学、
光电、校正中心。
民间企业:光电(TFT、CF、STN、TP、
LED、OLED) and 半导体。
KOSAK ET 200主要规格：



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品牌简介

日本东京精密日本东京精密
泰亚赛福是东京精密代理商，全权销售精密全系列仪器的在华业务，具有交货期短、价格低等优势，我们凭借雄厚的服务队伍，为您提供满意、周到的售前及售后服务，以便挑选到性价…
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