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工业检测显微镜,紧凑的设计实现最小的占地空间,镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能,标配158X158mm手动移动载物台(最大可用于200mm晶圆检查)

自动晶圆搬送机/200mm半导体检查显微镜,用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(ALL110-6),非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性,灵活的程式设计,最短的搬送时间极大的提高了生产效率

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
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
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
金相显微镜,近红外外透射反射观察用显微镜,5X到10X红外镜头,像差校正本涵盖从可见光到近红外整个波段,晶圆,化合物半导体的内部,封装芯片内部以及CSP bump观察适宜

金相显微镜,紧凑的Y型镜体设计,稳定且占地少, 新的光路设计,光效率更高,采用长寿命卤素光源,反射专用镜体,可用于明场,简易偏光,微分干涉相衬观察
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防静电金相显微镜,紧凑的Y型匀设计,稳定且占地小,新的光路设计,光效率更高,采用长寿命卤素光源,反射专用镜体,可用于明场、简易偏光、微分干涉相衬观察,显微镜本体,反射照明器,物镜转换器都采用防静电设计(ESD)

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
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