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TalysurfCCITalysurfCCI白光干涉表面轮廓仪

添加时间:2010-5-28 16:28:14 担当:未知 阅读:

  • 产品名称:TalysurfCCITalysurfCCI白光干涉表面轮廓仪
  • 定货号:GB-01474-00
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白光干涉表面轮廓仪
仪器介绍
Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI(专利技术的相干相关算法)干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸,并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件,半导体器件,光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。
 
 
技术参数
(1) 类型: CCI 干涉(相干相关干涉)
(2) 分辨率: 0.1 A
(3) 测量点数: 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。
 
主要特点
•专利的相干相关算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒测量时间
•RMS重复性:0.03A

定货信息:
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GB-01474-00白光干涉表面轮廓仪标准配置或电话咨询010-84851836咨询
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