添加时间:2010-5-28 11:56:21 担当:未知 阅读:次
缩短检查用时,提高检查效率 | |
自动聚焦附件 MX-AF |
透射光检查照明 MX-TILLA/MX-TILLB |
MX专用的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式,甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和精确的自动对焦,甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。 |
两种照明装置可选,通用型及高数值孔径型。为FPD,MASK板检查提供合适的照明,并且可配备起偏镜,实现投射光简易偏光观察。 |
高反差,更高分辨率,更高倍率检查 |
用于光刻胶残留检查的荧光观察方式 |
共聚焦附件 U-CFU |
荧光分光镜模块 |
共聚焦光学系统可以提供更高的反差和分辨率,分辨率可达0.18μm,并可对多层线条的器件分层对焦,获得高分辨率,高反差的共焦图像。 |
备有U.B.G等多种荧光方式可选,用于光颗胶残留以及OLED检查。 |
方便的通讯接口用于显微镜倍率和孔径光阑的控制和参数获得 RS232C |
用于晶圆以及器件,甚至焊脚的内部检查 近红外线观察附件 |
MX61/MX61L标配包括一个RS232C接口,使得用PC控制显微镜电动部分成为可能,并且可以实现使工艺线上的几台显微镜都在同样的设定状态下工作。 |
包括专门的红外物镜等附件,对从可见光到近红外波段光线的像差做矫正,用于IC深层或内部检查,可实现对WAFER BUMP的全面检查。 |
定货号 | 产品名称 | 规格配置 | 价格 |
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GG-00132-00 | 晶圆FPD检查显微镜 | 标准配置或电话咨询010-84851836 | 咨询 |