X-Strata960X荧光镀层测厚仪
添加时间:2009-9-23 编辑:泰亚赛福 阅读:次
- 产品名称:X-Strata960X荧光镀层测厚仪
- 产品定货号:MC-02091-00
X-Strata960X荧光镀层测厚仪
基于25年涂镀层测量经验,在CMI900系列测厚仪的坚实基础上,引进全新的设计:
l 新100瓦X射线管 - 市场上所能提供的最强大X射线管。提高30%测量精度,同时减少50%测量时间
l 更小的X射线光斑尺寸 - 新增15mil直径准直器,可测量电子器件上更小的部位。提供改进的CCD摄像头及缩放装置,同时提供更高精度的Y轴控制。
l 距离独立测量(DIM) - 更灵活地特殊形状样品,可在DIM范围内12.5-90mm(0.5-3.5inch)对样品表面进行测量,Z轴可控制范围为230mm(9inch)。可通过手动调整也可以通过自动镭射聚焦来实现对样品的精确对准。
l 自动镭射聚焦 - 自动寻找振决的聚焦距离,改善DIM的聚焦过程并提高系统测量再现性。也可选择标准的镭射聚焦模式。
l 全新的大型样品室 - 更大的开槽式样品室(580x510x230mm : 23x20x9inch),开槽式设计可容纳超大尺寸的样品。可从各个方向简便的装载和观察样品。
l 3种样品台选项 - XY程控控制(200x200mm或8x8inch移动范围)/XY手动控制(250x250mm或10x10英寸)/固定样品台;标准配置Z轴程控控制(230mm或9inch移动范围)。
l 内置PC用户界面
技术参数
l X射线激发和检测
牛津仪器制造的100瓦(50kV-2.0mA)微焦点钨靶X射线管
高分辨封气(Xe)正比计数器可获取最高的计数灵敏度,配合二次滤光器机构实现最佳的检出效果
l 数字脉冲处理
4096通道数字多道分析器,数字光谱处理过程可获取最高的信号采集(每秒计数量),从而保证最好的测量统计结果
l 手动或自动透镜控制
手动透镜控制:通过手动调整DIM旋钮控制分析聚焦距离
自动透镜控制:激光束自动寻找DIM系统的最佳分析聚焦距离
l 自由距离测定
简化系统设置和维护
在聚焦距离范围内仅需要一个校正
对不规则样品更灵活的测量
在12.7mm-88.9mm的自由距离内,可准确测量样品表面的任何一点
通过DIM旋钮或使用自动激光聚焦功能,可快速、准确的确定聚焦距离
l 附带自动透镜功能的自动激光聚焦
独特的、自动样品摆放系统
激光扫描单键启动
消除样品碰击Z轴的机会
改善DIM的聚焦过程
l 标准激光聚焦
标准激光聚焦功能在所要求的聚焦聚焦上,自动寻找正确的Z轴位置,提高分析再现性,结果不受人为操作的影响
Z轴聚焦扫描单键启动改善DIM和常规固定焦距测量时的聚焦过程
l 微小准直器
仪器至少装备一个客户指定规格的准直器以最优化测量,并提高测量效率
备有各种规格准直器(0.015mm – 0.5mm),园形或矩形供客户选用
多准直器程序交换系统可同时安装4个准直器
l 大样品室设计
方便超大样品的推拉式平台:如大面积PCB板、较长的管材样品
大型开发式样品室:方便于从各方向进样和观察样品
三种样品台备选:可编程XY轴样品台、手动XY轴样品台、固定位置样品台
标准配置自动化Z轴:最大高度230mm
l 集成化计算机
工作站式设计:改善人机工程学、方便使用
简化设备安装:仅需要接入主电源线,没有其他电缆
减少整机占用空间
USB和Ethernet接口:打印机、刻录机、局域网和远程在线支持功能
l 其他硬件特点
CCD相机拥有2x、3x或4x的变焦功能,可实现对测定样品的高分辨、实时、彩色图像观测
温度补偿功能监测系统温度,并自动校正由于温度变化可能引起的仪器漂移,保证长期的仪器稳定性
光谱校准、单击鼠标执行系统性能自检和校正程序保证仪器长期的稳定性坚实耐用的仪器设计适用于各种工业环境一体化工作站设计实现最佳的人机工程学