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如何提高镀膜玻璃的质量—膜层均匀性控制

解答时间：2011/7/4 浏览次数：604 专家：

最佳答案

在玻璃镀膜行业，气体质量流量控制器为玻璃进行沉积一层强度非常高的氮化膜层，由于流量计厂家的技术限制，镀膜方式采用离线真空溅射法所镀的膜层厚薄不均，有很明显的斑点，在工作中受高温和高压强的影响，膜层容易起斑点，膜层组织可控参数少、膜层粒子总体能量不高，不容易进行反应沉积。所镀膜后的工件严重影响被加工件的加工精度。

分析其原因，主要是因为气体质量流量控制器在工作受到现场设备磁场的干扰和镀膜机上的震动引起对反应气体的控制不稳定，气体响应滞后，控制精度不高导致的，因此要求充入的气体控制稳定，精度要求高。

我公司代理的V10FD-LC气体质量流量控制器在离线真空溅射法镀膜工艺中的效果非常好，很好的解决了这一现象，气体对流量控制器的影响很小，逐渐在玻璃镀膜行业上广泛应用。

主要推荐产品

V10FD-B大流量流量计
订货号：MM-04019-00
品牌：塞尔瑟斯
产地：加拿大
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会员价格：登录

上架时间：2011/1/27
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产品描述
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产品描述：

可选低压/中压/高压三种传感器，配合大流量层流管结构用于300SLM以上的流量控制。该产品为模拟和数字兼容型设计：可通过模拟型二次表或PLC进行设定和显示瞬时流量；也可通过数字接口直接与计算机进行通讯。具有通用于模拟型控制系统和数字型控制系统的特点。
● 专用于大流量的层流管结构
● 响应速度100ms,无需预热,上电即可操作
● 无热漂移,长期稳定性0.1%F.S/年
● 数模兼容,可使用二次表或计算机控制和显示流量
● 内置阀控指示灯/通讯指示灯/流量指示灯
● 内置4种气体,无比热容附加误差,不影响精度

权威的技术顾问，制造商鼎力支持，泰亚赛福为您提供完善的解决方案！

技术参数：

技术指标:   V10FD-BC质量流量控制器V10FD-BM质量流量计
量程范围:   300SLM～2000SLM
测控范围:   控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准确度:   流量：±1.5%读数±0.2%满量程
              可选±0.8%读数±0.2%满量程
                压力：0.5%F.S 温度：±1℃
线    性:    ±0.5%F.S
重复精度:  ±0.2%F.S
响应时间:  100ms 10ms
数字量:  RS232/485，MODBUS协议
模拟量:  0～5V、4～20mA、1～5V
供    电:    24V/±15V可选
工作温度:  0～50℃
工作压力:  工作压差：0.03～0.5MPa 工作压降：<0.01Mpa
最大耐压:  低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa
电气连接:  DB15孔
漏    率:   1×10-9SCCSHe
温度系数: ±0.015%F.S/℃
底座材质: 铝合金或316L不锈钢
密封材料: 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接    头:   VCR1/4;swagelokφ6

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服务第一！质量第一！价格最低！

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明细价格：

定货号	产品名称	规格配置 / 简介	市场价
MM-04019-00	V10FD-B大流量流量计	可选低压/中压/高压三种传感器，配合大流量层流管结构用于300SLM以上的流量控制。该产品为模拟和数字兼容型设计：可通过模拟型二次表或PLC进行设定和显示瞬时流量；也可通过数字接口直接与计算机进行通讯。具有通用于模拟型控制系统和数字型控制系统的特点。	登录