仪器主要技术指标：
（测半导体都可用）
1． 测量范围：电阻率10-3?103Ω-cm，分辩率为 10-4Ω-cm ，可扩展到105Ω-cm方块电阻10-2?104Ω/□，分辩率为10-3Ω/□，可扩展到106Ω/□薄层金属电阻10-4?105Ω，分辩率为10-4Ω
2.可测半导体材料尺寸：直径Φ15?Φ125mm； 长度：150mm(可扩展500mm)
3.测量方式：轴向、断面均可
4．数字电压表：（1）量程：20mV(分辩率：10μV)、200mV、2V
（2）测量误差：±0.3%读数±1字
（3）输入阻抗：大于108Ω
（4）显示3 1/2 位红色发光二极管（LED）数字显示
0---1999具有极性、过载、小数点、单位自动显示
5．恒流源：由交流供电，具有良好的防泄漏隔离功能
（1） 直流电流：0?100mA连续可调
（2） 量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
（3） 分辩率：10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA
（4） 电流误差：±0.3%读数±2字
6．电性能模拟考核误差：<±0.3%符合ASTM指标
7．测试探头：（1）探针机械游移率：± 0.3% 符合ASTM 指标
8．电源：交流220V±10% 50HZ或60HZ 功率消耗< 30W
9．电气箱外形尺寸：119×440×320mm