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硅片厚度测量仪

订货号：	MM-03162-00
产地：	日本
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开发编号：	N
市场价：	￥

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产品描述：

硅片厚度数据的管理方法

1、数据收集功能（选配）

用RS-232功能+数据计算环软件的组合，在测量每个工件时数据就自动的传送给PC。

2、打印功能

在显示部件上连接选配的BCD输出打印机，在每个工程测量时，测量数据就自动的进行打印输出。

·特长

适用于各种硅片的尺寸（3，5，6，8，12英寸）

更换规格时（更换档位销）

用提升杠杆发打印输出指令（给打印机或PC）

技术参数：

型号		6英寸用	8英寸用	12英寸用
商品编号		09002501	09002505	090025011
精度（温度20℃±1℃）		累积指示误差±0．15μm 行程3 mm以内重复精度0．2μm（20）
测量部	传感器	PH-01
	测力	1．2～2N/0～5 mm
	硅片直径	φ3″，φ4″，φ5″，φ6″	φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″，	φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″，φ12″
	收张行程	5mm	5 mm	5mm
	尺寸	160(W)×175(D)×185(H)mm	200(W) ×210(D)×185(H)mm	300(W) ×291(D)×185(H)mm
显示部件	形式	DH-151
	显示部	绿色荧光显示管
	显示位数	7位及［—］号
	最小显示量	0．0001 mm （ 0．1μm）
	尺寸重量	278(W) ×300(D)×81(H)mm, 约2．7kg
	电源	AC85～250V， 50/60HZ, 10VA
	电源电缆	3m AC可分析

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品牌简介

日本东京精密

泰亚赛福是东京精密代理商，全权销售精密全系列仪器的在华业务，具有交货期短、价格低等优势，我们凭借雄厚的服务队伍，为您提供满意、周到的售前及售后服务，以便挑选到性价…泰亚赛福是东京精密代理商，全权销售精密全系列仪器的在华业务，具有交货期短、价格低等优势，我们凭借雄厚的服务队伍，为您提供满意、周到的售前及售后服务，以便挑选到性价比高，合适的产品，为用户培训优秀工作人员。

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