测量范围(mm)  X轴600 850    Y轴500 600 1000 1500   Z轴300 600
测量精度*(μm)
指示精度 MPE_E= 1.9+4L/1000μm 2.4+4L/1000μm
测头测量精度 MPE_P= 1.9μm 2.4μm
扫描精度 MPE_THP= 2.8μm(使用Φ4mm,长40mm的测针时) 5.8μm(使用Φ4mm,长40mm测针+300mm接长杆时)
测头VAST-XT
测量方式扫描测量, 点测量
测针 长度/重量/先端直径最大长度400mm/最大重量400g/最小直径Φ1mm
工作台(mm)
使用可能宽度(X) 800 1000
使用可能深度(Y) 1220 1370 1810 2310
距地高度725
被测物(mm)
最大高度470 770
最大质量400 800 1000 1500
驱动速度
最大加减速度1200mm/sec2 速度可变范围CNC测量模式: 0.01-425mm/sec(无级可变) 操纵杆模式: 0-120mm/sec(无级可变)
测量速度操纵杆模式: 0-5mm/sec(无级可变)
外形尺寸(mm)   宽1415 1615    长1390 1540 1980 2480     高2205 2655
主机质量(kg) 1300 1600 2700 3400
温度条件
环境温度(℃) 16-25℃
温度变化(℃/hour) 1℃

测量精度的指示精度MPE_E及测头精度MPE_P按JIS B 7440-2-2003(ISO 10360-2: 2001)规定的测量方法评价, 指示精度L是任意2点间的距离(mm) 扫描精度  MPE_THP按JIS B 7440-4:2003(ISO 10360-4: 2001)规定的扫描测量方法评价。

最大允许扫描误差

用4种方法的扫描测量求得扫描点(0.1mm间隔)。
按最小二乘法计算球心。
计算各扫描点与球心的距离R。
算出扫描点和计算球心距离R的范围。
各距离R和检查用标准球的校正后的直径值的一半绝对值的最大值称为扫描误差。