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ET4000微细形状测定仪
ET4000微细形状测定仪
订货号:MM-06784-00

400-000-1836
分机:X055 / 804 /
产地:日本
品牌:
开发编号: N
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产品描述:

KOSAKA ET 4000 基于 Windows XP 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET4000 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。前制程机台(如曝光机、溅镀机、蚀刻机)best  recipe 找寻。例如:PVD、CVD、DLC 真空溅镀薄膜台阶、应力测定及软质光阻材料等薄膜台阶量测。最主要是触针形状不同,ET(俗称 Alpha-step)是 R2um/60度钻石制、AFM  是蚀刻制,故几乎无角度。也因此若纯粹膜厚两种都 OK,差异是有些细微表面 ET掉不进去,故nm以下的表面粗度则以 AFM 为主。


品牌简介

株式会社小坂研究所(KOSAKA)于1950年创立,是日本第一家生产光学杠杆表面粗糙度计,具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为最具…株式会社小坂研究所(KOSAKA)于1950年创立,是日本第一家生产光学杠杆表面粗糙度计,具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为最具代表性单位且在日本精密测定也占有一席无法被取代的地位。

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