产品描述:
PRESI 1200FP晶片抛光机
规格描述:
1.1200 mm 的直径抛光盘
2.可变速抛光盘的速度范围为40-100 rpm.
3.喷液冷却
4.全不锈钢材质的抛光盆和工作台
5.2个抛光盘可同时进行磨抛
6.可互换的直径480 mm的真空装片装置
7.可变速的抛光机头的速度范围为40-100 rpm.
8.可调节的研磨压力范围为10-369kg
9.可调的清洁方式(速度和幅度)
10.通过适当的速度与压力调节可使自动抛光布再生
宽度: 1600 mm
深度: 2100 mm
高度: 2000 mm
重量: 1650 kg.
操作:
MECAPOL 1200 FP 是一款高效能的抛光机并且操作非常简单以及便于维修保养.
1.真空装片装置的装卸工作可在一分钟内完成.
2. 头部清洁功能可适合多晶圆抛光或直径12"(300mm)的单晶片的抛光.
3.自动抛光布可在每个抛光程序之前就可再生.
4.抛光速度,压力和时间的可调功能可使用户非常容易的操作以及可快速的进行程序的变更.
抛光产品尺寸:
1.单晶圆抛光:每个磨抛头可以磨抛 8” (200 mm) 和1 2” (300 mm)的晶圆.
2.6 x 8”的多晶圆抛光.
购买流程:
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