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AL110/MX61自动晶圆搬送机/200mm半导体检查显微镜
AL110/MX61自动晶圆搬送机/200mm半导体检查显微镜
订货号: MM-75841-00
产地: 日本
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开发编号: N
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产品描述:

AL110/MX61自动晶圆搬送机/200mm半导体检查显微镜
 
● 用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(ALL110-6)
● 用于200mm晶圆传送及检查,200/150mm晶圆交替检查可能(AL110-8)
● 非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性
● 灵活的程式设计,最短的搬送时间极大的提高了生产效率
● AL110-12 3--VMM 晶圆自动搬送机台(NEW)

型号
200mm型
200/150mm
兼容型
100/125/150mm
兼容型
项目
L
LM
LB
MB
LMB
L
LM
LB
MB
LMB
L
LM
LMB
晶圆直径
200晶圆边
200mm切口
 
150mm晶圆平边
 
 
100/125/150mm
晶圆平边
 
 
观察方式
连续和采样
转换方式
正面宏观检测
 
 
背面宏观检测
 
 
 
 
 
2次背面检测
 
 
 
 
 
 
表面显微观测
 
 
 
 
 
 
适用显微镜
MX61/MX61L型
规格(mm)
580(W)*580(D)*297(H)
490(W)*520(D)*297(H)
重量(kg)
30
32
31
31
33
30
32
31
31
33
26
28
30
能耗
电源:AC100-120V0.90A,或AC220-240V0.55A 50/60Hz.真空压力:-67kPa~-80kPa



品牌简介

奥林巴斯创立于1919年,1920年在日本第一次成功地将显微镜商品化;在癌症防治领域起着极其重要作用的内窥镜,也是在1950年由奥林巴斯在世界上首次开发的。迄今为止,奥林巴斯…奥林巴斯创立于1919年,1920年在日本第一次成功地将显微镜商品化;在癌症防治领域起着极其重要作用的内窥镜,也是在1950年由奥林巴斯在世界上首次开发的。迄今为止,奥林巴斯株式会社已成为日本乃至世界精密、光学技术的代表企业之一,事业领域包括医疗、生命科学、影像和产业机械。奥林巴斯从创业的当初起,就一直以全球性视野挑战新价值的创造。自上个世纪60年代从美国、欧洲开始,不断积极地推进全球化战略,在数码照相机为首的影像业务领域和消化系统内窥镜等医疗业务领域,以保持高品牌力的企业在世界市场上赢得了广泛认同。

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