产品描述:
830质量流量计和840 质量流量调节仪是为对0~10sccm到0~200scfm内的空气和过程气体进行精确测量和控制而设计的。因为所用材料为316不锈钢,所以该装置适合于大多数清洁气体,包括腐蚀性气体的测量。
特点
● 直接监测质量流量,无需压力和温度传感
● 专利的直传感器管道使清洁简单且缩短了维修停用期
● 铂传感器消除了零漂,确保长期稳定
● 快速响应控制阀响应时间为1秒,并且可以在较大的差压范围内工作
● 基本标准标定确保了起始点准确性和NIST可追踪性
● 外壳,过程连接,输入/输出和控制电子元件供选范围很大
● CE认证
● 获中华人民共和国计量器具批准证书(CPA)
参数
气体:所有清洁气体;订货时具体指出。
质量流量:0~10sccm 到0~5600slpm;规定的流量是760 毫米汞柱、21OC(70OF)条件下的氮气相应流量;也可提供以其它单位(即:scfh 或nm3/h)表示的流量范围。
气体压力:最大 1000psig(69barg),仅低流量流体;
最大 500psig(34barg),30psig(2barg)最佳。
气体&环境温度:32ºF 到122ºF(0ºC 到50℃);要求较高温度,订货时需特殊指出。
防渗漏功能:最大为 5×10-9atm cc/sec(氦气)。
购买流程:
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维护担当:
上线时间:
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