直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。该产品为模拟和数字兼容型设计：可通过模拟型二次表或PLC进行设定和显示瞬时流量；也可通过数字接口直接与计算机进行通讯。具有通用于模拟型控制系统和数字型控制系统的特点。
● 直接热式原理，无层流元件                              
● 无压损,抗结晶,抗腐蚀
● 适用于各种低压和高压管道
● 预热时间短,零漂小，可靠性高
● 数模兼容,可使用二次表或计算机控制和显示流量
● 内置阀控指示灯/通讯指示灯/流量指示灯
● 内置4种气体,无比热容附加误差,不影响精度

量程范围:     小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM
测控范围:     控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准 确 度:     流量：±3%读数±0.2%满量程
              压力：0.5%F.S 温度：±1℃
              线性±0.5%F.S
重复精度:     ±0.2%F.S
响应时间:     100ms 10ms
数 字 量:     RS232/485，MODBUS协议
模 拟 量:     0～5V、4～20mA、1～5V
供    电:     24V/±15V可选
工作温度:     0～50℃
工作压力:     工作压差：0.03～0.5MPa 工作压降：<0.01Mpa
最大耐压:     3MPa
电气连接:     DB15孔
漏    率:     1×10-9SCCSHe
温度系数:     ±0.015%F.S/℃
底座材质:     铝合金或316L不锈钢
密封材料:     氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接    头:    VCR1/4;swagelokφ6