高精度、非接触式表面测量
现今, 工件表面形貌特性受加工方法和新型材料的影响越来越大。
传统轮廓探针接触法经常不能充分反应表面的功能特性, 于是三维记录和评定成为了必需的。软质或薄驻材料的工件也需要非接触式测量才行。
此外, 即使获得了更高质量水平的表面, 也大大增加了对测量系统中分辨率和测量精度方面的要求。

MarSurf WS 1 是基于白光干涉法使用的一种光学表面传感器。 该技术可实现快速和高精度表面形貌测量, 并适用于大范围不同材质工件。
该设计与传统干涉法相似, 而不同的是, 采用了白光而不是连续光。因为白光有较短的连续长度, 所以在反应表面形貌测量时, 表现更出色的特性。 相比传统干涉法, 在测量高度时, 高度信息可以被清晰显示和分析。被测表面区域在CCD相机中显示, 表面区域和高精度参考表面通过物镜面干涉, 以相同比例成像(Mirau 物镜), 通过分光器取样图形和参考图形变得层次性, 并在相机中获得干涉。
在测量过程中, Mirau 物镜可通过远程位置调节器在Z轴方向进行小范围移动, 产生的干涉图记录为图像堆和评定, 最终转换为高度数据。

MarSurf WS 1 既可用于精密的实验室, 也可以用于生产现场环境。
其他光学测量原理在测量不同类型表面时, 很容易超出其测量范围, 其中一些不能实现高度反射表面测量, 另外一些则甚至完全不能正确测量粗糙表面。
MarSurf WS 1 及它革新的测量信号评定适用于反光工件表面和粗糙工件表面的分析。 例如, 垂直方向高分辨率可进行光学组件如透镜或镜片表面粗糙度次微米级精度测量。也可进行微型机械组件表面质地检测, 测量适用于各种材质的工件, 可测量玻璃、纸质、油面、金属、塑料、涂层和液体。
MarSurf XT 20 形貌测量软件是一个强大的评定工具，拥有大范围的功能。归功于标准 MarWin 软件平台, 您也可以同样从MarSurf XC 20 软件获益。

• 紧凑式传感器
• 新的照明理念
• 通过USB进行供电
• 高图像比率, 例如: 较短的测量时间
• 亚纳米高度分辨率
• 测量时间 (包括评定, 通常20至30秒)
• 组合式设计原理
• 可更换的照明及成像途径
• 通过MarWin 标准形貌软件进行评定崭新系统的优点