泰亚赛福 —— 世界领先的检测仪器集成供应商 
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型号 |
C544 |
C574 | |
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测量范围 |
X轴 |
505mm(20＂) |
505mm(20＂) |
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Y轴 |
405mm(16＂) |
705mm(28＂) | |
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Z轴 |
405mm(16＂) |
405mm(16＂) | |
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分辨率 |
0.0001mm(.000004＂) | ||
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200C时的精度ISO10360-2 |
EPEE=（1.9+3L/1000）µm*(1.7+3L/1000) µm**
MPEP=1.9µm/1.7µm
(使用TP200/SP600) | ||
| 产品名称 | 产品简介 | 产品编号 |
|---|---|---|
| MC-29149-00 | MC-29149-00 |
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