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硅片厚度测量仪

添加时间:2009-10-12 编辑:X007 阅读:

  • 产品名称:硅片厚度测量仪
  • 产品定货号:MC-12018-00
硅片厚度测量仪
 
硅片厚度数据的管理方法
1、数据收集功能(选配)
用RS-232功能+数据计算环软件的组合,在测量每个工件时数据就自动的传送给PC。
 
2、打印功能
在显示部件上连接选配的BCD输出打印机,在每个工程测量时,测量数据就自动的进行打印输出。
 
·特长
适用于各种硅片的尺寸(3,5,6,8,12英寸)
更换规格时(更换档位销)
用提升杠杆发打印输出指令(给打印机或PC)
 
型号
6英寸用
8英寸用
12英寸用
商品编号
09002501
09002505
090025011
精度
(温度20℃±1℃)
累积指示误差±0.15μm        行程3 mm以内       重复精度0.2μm(20)
测量部
传感器
PH-01
测力
1.2~2N/0~5 mm
硅片直径
φ3″,φ4″,φ5″,φ6″
φ3″,φ4″,φ5″,φ6″,φ8″,
φ3″,φ4″,φ5″,φ6″,φ8″,φ12″
收张行程
5mm
5 mm
5mm
尺寸
160(W)×175(D)×185(H)mm
200(W) ×210(D)×185(H)mm
300(W) ×291(D)×185(H)mm
显示部件
形式
DH-151
显示部
绿色荧光显示管
显示位数
7位及[—]号
最小显示量
0.0001 mm ( 0.1μm)
尺寸重量
278(W) ×300(D)×81(H)mm,     约2.7kg
电源
AC85~250V,  50/60HZ,   10VA
电源电缆
3m  AC可分析
 

产品名称产品简介产品编号
硅片厚度测量仪硅片厚度测量仪,用RS-232功能+数据计算环软件的组合,在测量每个工件时数据就自动的传送给PC,在显示部件上连接选配的BCD输出打印机,在每个工程测量时,测量数据就自动的进行打印输出MC-12018-00



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