型号 |
6英寸用 |
8英寸用 |
12英寸用 | |
商品编号 |
09002501 |
09002505 |
090025011 | |
精度
(温度20℃±1℃) |
累积指示误差±0.15μm 行程3 mm以内 重复精度0.2μm(20) | |||
测量部 |
传感器 |
PH-01 | ||
测力 |
1.2~2N/0~5 mm | |||
硅片直径 |
φ3″,φ4″,φ5″,φ6″ |
φ3″,φ4″,φ5″,φ6″,φ8″, |
φ3″,φ4″,φ5″,φ6″,φ8″,φ12″ | |
收张行程 |
5mm |
5 mm |
5mm | |
尺寸 |
160(W)×175(D)×185(H)mm |
200(W) ×210(D)×185(H)mm |
300(W) ×291(D)×185(H)mm | |
显示部件 |
形式 |
DH-151 | ||
显示部 |
绿色荧光显示管 | |||
显示位数 |
7位及[—]号 | |||
最小显示量 |
0.0001 mm ( 0.1μm) | |||
尺寸重量 |
278(W) ×300(D)×81(H)mm, 约2.7kg | |||
电源 |
AC85~250V, 50/60HZ, 10VA | |||
电源电缆 |
3m AC可分析 |
产品名称 | 产品简介 | 产品编号 |
---|---|---|
硅片厚度测量仪 | 硅片厚度测量仪,用RS-232功能+数据计算环软件的组合,在测量每个工件时数据就自动的传送给PC,在显示部件上连接选配的BCD输出打印机,在每个工程测量时,测量数据就自动的进行打印输出 | MC-12018-00 |