泰亚赛福 —— 世界领先的检测仪器集成供应商 
添加时间：2009-6-19 编辑：泰亚赛福 阅读：次
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型号 |
200mm型 |
200/150mm 兼容型 |
100/125/150mm 兼容型 | |||||||||||
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项目 |
L |
LM |
LB |
MB |
LMB |
L |
LM |
LB |
MB |
LMB |
L |
LM |
LMB | |
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晶圆直径 |
200晶圆边 200mm切口 |
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150mm晶圆平边 |
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100/125/150mm 晶圆平边 |
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观察方式 |
连续和采样 |
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转换方式 |
正面宏观检测 |
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背面宏观检测 |
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2次背面检测 |
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表面显微观测 |
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适用显微镜 |
MX61/MX61L型 |
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规格(mm) |
580(W)*580(D)*297(H) |
490(W)*520(D)*297(H) | ||||||||||||
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重量(kg) |
30 |
32 |
31 |
31 |
33 |
30 |
32 |
31 |
31 |
33 |
26 |
28 |
30 | |
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能耗 |
电源：AC100-120V0.90A,或AC220-240V0.55A 50/60Hz.真空压力：-67kPa～-80kPa | |||||||||||||
| 产品名称 | 产品简介 | 产品编号 |
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| AL110/MX61自动晶圆搬送机/200mm半导体检查显微镜 | AL110/MX61自动晶圆搬送机/200mm半导体检查显微镜，用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(ALL110-6)，非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性，灵活的程式设计,最短的搬送时间极大的提高了生产效率 | MC-19088-00 |
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