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MX51工业检测显微镜

添加时间：2009-9-22 编辑：泰亚赛福 阅读：次

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  • 产品名称：MX51工业检测显微镜
  • 产品定货号：MC-19087-00
  • 产地：日本
  • 推荐：
MX51工业检测显微镜
 
产品概述
● 紧凑的设计实现最小的占地空间
● 镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能
● 标配158X158mm手动移动载物台(最大可用于200mm晶圆检查)
● 选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查
● 采用防静电设计,极大方便磁头检查
● 提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准
MX51技术规格
 
光学系统:
UIS (无限远矫正) 光学系统
显微镜镜体:
Z轴同轴粗微调调焦，载物台行程范围：32mm(从焦面上行2mm和下行30mm)
行程相同：15mm(配合透射光照明)
Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1mm(1个单位1μm)
调焦机构张力可调
有调焦上限位机构
照明系统:
·  BX-KMA明视场照明器
·  BX-RLA2明视场/暗视场照明器
·  BX-URA2万能照明器
透射照明:
明视场MX-TILLK照明灯，配备光纤照明附件
(MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用)

产品名称产品简介产品编号
MX51工业检测显微镜MX51工业检测显微镜，紧凑的设计实现最小的占地空间，镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能，标配158X158mm手动移动载物台(最大可用于200mm晶圆检查)MC-19087-00



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