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LYRA 3 XMU聚焦离子束可变真空扫描电镜

添加时间：2011-3-10 编辑：X804 阅读：次

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  • 产品名称：LYRA 3 XMU聚焦离子束可变真空扫描电镜
  • 产品定货号：MZ-00451-00
  • 产地：捷克
  • 推荐：
TESCAN总部坐落在捷克共和国布尔诺市，作为全球范围内的科学仪器制造商，TESCAN专注于于研究、开发、制造扫描电子显微镜及其相关附件和特殊产品，为建立在扫描电子显微镜以及针对不同应用的相关系统解决方案领域内的品牌做出不懈努力。
分辨率
 高真空模式(二次电子)
 低真空(背散射电子,
     低真空二次电子)
1.2nm(30kV);FIB <5nm(30kV) 
2.0nm(30kV)
 工作真空
低真空模式
 电子枪真空
 离子枪真空

7-500Pa
<3×10-7 Pa
<5×10-6 Pa
 电子光学工作模式
分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率
2x-1,000,000x(FE-SEM);150x-1,000,000x(FIB)
 加速电压
200V至30KV(SEM);1KV至30KV(FIB) 
 电子枪
高亮度肖特基(FE-SEM);液态金属镓离子源(FIB) 
 探针电流
1pA至2μA(SEM);1pA至40nA(FIB) 
 扫描速度
从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
 聚焦窗口
形状、尺寸和位置连续可调 
 扫描特性
动态聚焦，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像 
 图象尺寸
最大可达8192×8192像素，图象比例可选1：1、4：3或2：1。
 显微镜控制
通过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作VEGA TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现
 自动程序
专利的实时电子束追踪技术自动最优化电子束，根据放大倍数优化束斑(BI OptiMag)，自动聚焦&消象散，自动调整对比度&亮度，自动调整扫描速度（根据信噪比），自动调整饱和电流，电子枪合轴，透镜&光阑对中，真空控制，加速电压的补偿，灰度级调整
 远程控制
通过TCP/IP
样品室
内部尺寸
300mm宽×330mm深
 门宽
280mm宽×310mm深 
 接口数量
13+  
 样品室减振方式
内置主动式电磁减振
+ 可根据客户需求调整接口数量和位置。
样品载台
类型
全电脑化优中心


 移动范围

X=130mm —— 马达驱动
Y=130mm ——马达驱动 
Z=100mm —— 马达驱动
旋转：360°连续可调——马达驱动

倾斜：-30°到+90°——马达驱动
 样品高度
最大139mm 
软件
标配：测量软件， 定位软件，图象处理，三维扫描，硬度测量，多图校正，投影面积，打印放大倍率，关机定时器，公差测量
选配：形态学，颗粒度分析，自动抓图，图象观测，电子束写入，鼠标连接

产品名称产品简介产品编号
LYRA 3 XMU聚焦离子束可变真空扫描电镜MZ-00451-00



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