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MIRA 3 LMU肖特基场发射可变真空扫描电镜

添加时间：2011-3-10 编辑：X804 阅读：次

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  • 产品名称：MIRA 3 LMU肖特基场发射可变真空扫描电镜
  • 产品定货号：MZ-00447-00
  • 产地：捷克
  • 推荐：
TESCAN总部坐落在捷克共和国布尔诺市，作为全球范围内的科学仪器制造商，TESCAN专注于于研究、开发、制造扫描电子显微镜及其相关附件和特殊产品，为建立在扫描电子显微镜以及针对不同应用的相关系统解决方案领域内的品牌做出不懈努力。
分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(背散射电子)
      （低真空二次电子)
1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.0nm(3kV)
2.0nm(30kV)
1.5nm(30kV), 3nm(3kV)
 工作真空
 高真空
 低真空
枪体真空

<5×10-4Pa
7-150Pa
<3×10-7Pa
 电子光学工作模式
分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率
3.5×-1,000,000×连续可调
 加速电压
200V至30KV
 电子枪
高亮度肖特基发射源
 探针电流
2pA至100nA
 扫描速度
从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
 聚焦窗口
大小和位置连续可调
 扫描特性
动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像
 图象尺寸
最大可达8192×8192像素，图象比例可选1：1、4：3或2：1。
 显微镜控制
通过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作VEGA TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现
 自动程序
独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，光阑&透镜对中，加速电压改变的补偿，最优化束斑大小和探针电流，最优化放大倍率和束斑大小，扫描速度，高度和对比度，聚焦和消像散，灰度等级调整。
 远程控制
通过TCP/IP
样品室
内部尺寸
Ф230mm
 门宽
148mm
 接口数量
11+
 样品室减振方式
气垫减振（可选配内置主动式电磁减振）
+ 可根据客户需求调整接口数量和位置。
样品载台
类型
全电脑化优中心


 移动范围
全马达驱动控制方式:
X=80mm－－马达驱动
Y=60mm－－马达驱动 
Z=47mm－－马达驱动
旋转:360°连续可调－－马达驱动
倾斜:-80°到+80°－－马达驱动
 样品高度
最大81mm
软件
标配：测量软件， 定位软件，图象处理，三维扫描，硬度测量，多图校正，投影面积，打印放大倍率，关机定时器，公差测量
选配：形态学，颗粒度分析，自动抓图，图象观测，电子束写入，鼠标连接

产品名称产品简介产品编号
MIRA 3 LMU肖特基场发射可变真空扫描电镜MZ-00447-00



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