VEGA 3 XMH钨灯丝超大样品室扫描电镜

添加时间：2011-3-8 编辑：X804 阅读：次

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TESCAN总部坐落在捷克共和国布尔诺市，作为全球范围内的科学仪器制造商，TESCAN专注于于研究、开发、制造扫描电子显微镜及其相关附件和特殊产品，为建立在扫描电子显微镜以及针对不同应用的相关系统解决方案领域内的品牌做出不懈努力。

分辨率高真空(二次电子) 低真空(背散射电子)	3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)/ 选配六硼化镧 2.0nm(30kV),5.0nm(3kV) /
工作真空高真空低真空	＜9×10-3Pa /
电子光学工作模式	分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
放大倍率	1.5x-1,000,000x
加速电压	200V至30KV
电子枪	钨灯丝/六硼化镧
探针电流	1pA至2μA
扫描速度	从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
聚焦窗口	形状、尺寸和位置连续可调
扫描特性	动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像
图象尺寸	最大可达8192×8192像素，图象比例可选1：1、4：3或2：1。
显微镜控制	通过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作VEGA TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现
自动程序	实时电子束追踪优化，束斑直径优化放大倍数，聚焦&消象散，对比度&亮度，扫描速度（根据信噪比），灯丝饱和调整，电子枪对中，光阑&透镜对中，真空控制，加速电压的补偿，灰度等级调整
远程控制	通过TCP/IP

样品室

+ 可根据客户需求调整接口数量和位置。

样品载台

类型	全电脑化优中心
移动范围	X=130mm —— 马达驱动 Y=130mm ——马达驱动 Z=100mm —— 马达驱动旋转：360°连续可调——马达驱动倾斜：-30°到+90°——马达驱动
样品高度	最大145mm