2900DX表面粗糙度 轮廓形状测量机

最新的技术一线性马达 高速、低振动、高精度的测量

·采用线性马达下一代驱动部的开发(现正申请专利): 具有世界最高水平的测量速度以及
低振动性，能够进行稳定的高倍率测量。线性马达为非接触驱动，构造简单(无进给丝
杆、齿轮箱)，因此不会产生振动，可以长期稳定运行。
·大幅度提高了生产效率的高速测量: 粗糙度测量最大3mm/s、波纹度测量最大20mm/
s、移动速度60mm/s取得了前所未有的惊人速度。可自动进行从利用演示、回放功能
的测量到利用数据粘贴制作检查成绩书等一系列的作业，测量效率提高了5~10倍(与本
公司旧机型相比)。

·节省空间设计: 采用了令人耳一新的全新设计，占地面积削减了约25%(与本公司旧机
型相比)。设置恒温室等时，有降低费用的效果。
·装载了新开发的高性能小型传感器(粗糙度) : 装载了新开发的传感器，其设计小巧，适
用于高倍率、大范围的测量。外径为14mm，测量范围围达1000mm,测量倍率为50万倍。
·精度更上了一层楼：可以测量以前不能测量的工件(轮廓): 测量精度2.5μm(测量范围
5mm)足以用来测量模具等精密零部件。测量精度大幅度提高，可以测量以前用高级机
型才能测量的工件，大大地拓宽了其用途。
·对通用零部件的轮廓度评价简便(轮廓) : 对以往用投影机、工具显微镜进行评价的零部
件轮廓度可以在短时间内得出精确的数据。而且测量结果可以直接作为检查成绩书使用。
东京精密公司独特的先进功能(粗糙度/轮廓):
·自动要素判定功能(AI功能)：可自动判定点、直线、圆等要素，不需操作者指定
·尺寸显示功能：可在测量图上显示参数、几何偏差等实测值。
·自动凸面加工功能：用于自动检测出工件的最大值或最小值。
2900DX表面粗糙度•轮廓廓形状测量机
最新的技术一线性马达 高速、低振动、高精度的测量

表面粗糙度评价轮廓形状评价
测量范围
Z轴（纵向） 1000μm 50mm
X轴（横向） 100mm 100mm
精度
Z轴指示精度（纵向） ---- ±(2.5+12H1/100) μm/5mm范围、200mm范围
±(3.5+14IHI/100)μm/50mm范围 H:测量高度(mm)
测量分辨率---- 0.1μm /5mm范围、0.4μm /20mm范围、1μm /50mm范围
X轴指示精度（横向） ---- ±(1+2L/100) μm L:测量长度(mm)
测量分辨率---- 0.04μm
直线度精度(0.05+1.0L/1000)μm L=测量长度(mm) 1μm/100mm
测量方式
Z轴（纵向） 差动电感差动电感
X轴（横向） 摩尔干涉光尺摩尔干涉光尺
处理功能
参数/动算处理
JIS-2001, JIS-1994, JIS-1982, ISO, DIN, ASME, 符合CNOMO标准
Ra, Rq, Ry, Rc, Rz, J, Rmax, Rt, Rz, R3z, Sm, S, RΔa, RΔq, Rλa,Rλq, TIL,
TA, Ir, Pc, Rsk, Rku, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2, Rδc,
AVH, Hmax, Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR, CPM, SR, SAR
点, 直线, 圆, 部分圆, 椭圆, 最大点, 最小点, 距离
坐标差, 极坐标差, 直交/极坐标差表示,
交叉要素(点-直线, 直线-直线, 圆-直线, 圆-圆, 直线-椭圆 )
对称要素(点-点, 点-圆, 点-椭圆, 直线-直线, 圆-圆
圆-椭圆, 椭圆-椭圆)
坐标控制(原点设定, X轴设定, 平行移动, 回转移动)
面积计算, OVERPIN计算, 尺寸线显示功能, 计算结果与
设防计值比对, 镜面反转, 形状合成功能, 宏功能
自动要素判定, 计算点的重复功能, 工作轨迹功能
峰值谷值搜寻功能, 自动操作记录, 回放功能
评价曲线
剖面曲线, 粗糙度曲线, 滤波波纹度曲线, 滤波中心线波纹度曲线, 滚动圆波纹度
曲线, 滚动圆中心线波纹度曲线, DIN4776特殊曲线, 粗糙度中心曲线(MOTIF),
波纹度中心曲线(MOTIF), 包络波纹度曲线
----
表面特性图表负荷曲线, 功率谱曲线图, 振幅分布曲线----
倾斜补偿直线补偿, R面补偿, 前半补偿, 后半补偿, 两端补偿, 花键曲线补偿(直线,R面,
两端补偿可以在任意范围内) ----
记录
纵倍率50, 100, 200, 500, 1K, 2K, 5K, 10K, 20K, 50K,
100K, 200K, 500K,倍, 任意, 自动
0.01-10.000.000倍(可以为任意, 自动)
0.01-10.000.000倍(可以为任意, 自动)
横倍率0.1, 1, 2, 5, 10, 50, 100, 200, 500, 1K, 2K, 5K, 10K, 20K倍, 任意, 自动----
滤波器和种类标准型滤波器(2RC), 相位补偿型滤波器(2RC), 相位补偿型滤波器(高斯滤波器) ----
滤波值0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25mm(7级)任意----
速度
立柱上下移动速度(Z轴) 3-10mm/s
测量速度(X轴) 0.03-20mm/s
传感器
测针交换式交换式
测量力0.75mN 30mN以下
测针半径/测针材料2μmR/金刚石25μmR/超硬合金
测量进给方向---- 拉，推，两方向
测量姿势---- 上，下，两方向
各要
素
电源 / 耗电量AC 220V±10% 单相50/60HZ / 400VA
设置尺寸/质量1250（W）*850（D）*1500（H）mm / 约125kg
技术参数
·计算点的重复功能：如果工件具有重复形状的话，只需分析1个图案便可以进行全体形状的分析。
·工件轨迹功能：通过手动对工件进行1次扫描，不必设定数值便可决定测量范围。是最适于测量细微形状的功能。
·输入/输出功能：可以把图象数据粘贴到测量结果上，也可把测量波形数据粘贴到市售的一般软件内。