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DUO粗糙度仪2010/1/14 11:22:54 阅读：602次
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Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪
仪器介绍
Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。
技术参数
(1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。
主要特点
•专利的相干相关算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒测量时间
•RMS重复性：0.03A
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| 产品编号 | 产品名称 | 产品简介 | 产品价格 |
|---|---|---|---|
| MC-05814-00 | TalysurfCCI白光干涉表面轮廓仪 | 0￥ |
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