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硅片厚度测量仪

2009/10/12 11:04:21 阅读：1393次

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  • 产品系列名称：硅片厚度测量仪
  • 产品定货号：MC-12018-00
  • 产地：日本
  • 品牌：东京精密
  • 推荐：
东京精密

400-000-1836 转 010-84851836
手机：13911302325
硅片厚度测量仪
 
硅片厚度数据的管理方法
1、数据收集功能（选配）
用RS-232功能+数据计算环软件的组合，在测量每个工件时数据就自动的传送给PC。
 
2、打印功能
在显示部件上连接选配的BCD输出打印机，在每个工程测量时，测量数据就自动的进行打印输出。
 
·特长
适用于各种硅片的尺寸（3，5，6，8，12英寸）
更换规格时（更换档位销）
用提升杠杆发打印输出指令（给打印机或PC）
 
型号
6英寸用
8英寸用
12英寸用
商品编号
09002501
09002505
090025011
精度
（温度20℃±1℃）
累积指示误差±0．15μm        行程3 mm以内       重复精度0．2μm（20）
测量部
传感器
PH-01
测力
1．2～2N/0～5 mm
硅片直径
φ3″，φ4″，φ5″，φ6″
φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″，
φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″，φ12″
收张行程
5mm
5 mm
5mm
尺寸
160(W)×175(D)×185(H)mm
200(W) ×210(D)×185(H)mm
300(W) ×291(D)×185(H)mm
显示部件
形式
DH-151
显示部
绿色荧光显示管
显示位数
7位及［—］号
最小显示量
0．0001 mm （ 0．1μm）
尺寸重量
278(W) ×300(D)×81(H)mm,     约2．7kg
电源
AC85～250V，  50/60HZ,   10VA
电源电缆
3m  AC可分析
 

产品编号 产品名称 产品简介 产品价格
MC-12018-00 硅片厚度测量仪 硅片厚度测量仪,用RS-232功能+数据计算环软件的组合，在测量每个工件时数据就自动的传送给PC,在显示部件上连接选配的BCD输出打印机，在每个工程测量时，测量数据就自动的进行打印输出 0￥

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